半导体厂净化车间洁净棚定制要求(配高效过滤器、风淋室)

半导体厂净化车间洁净棚定制要求(配高效过滤器、风淋室)

洁净棚半导体厂净化车间特性决定其制造过程必须有洁净度要求,半导体厂洁净棚定制要求百级洁净棚,百级洁净棚是一种简易的洁净室,可快速提高区域洁净度的设备。以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通烤漆)作为框架,采用满布风机滤网机组FFU送风,四周围用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达百级,洁净棚由于其低成本、方便快捷、灵活组装,广泛用于光电、电子流水线作业、实验室、组装区域等局部高洁净度场合。
百级洁净棚的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。正是因为这样,所以百级洁净棚的顶部必须满布高效过滤器送风单元,而且必须通过风淋室进出。
百级洁净棚利用HEPA级高效过滤器过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

百级洁净棚工作原理:
要使内部净化级别达到百级(100级)或以上就要使室内的洁净气流形成单向垂直流。就是说在洁净棚内的气流在同一截面的任意一点气流的方向和速度保持一致,这样就可以使洁净气流象活塞一样将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。要实现垂直流就要将高效过滤器布满屋顶,才能实现单向垂直流,达到洁净度100级或以上的级别。
而对于千级到十万级的(1K-100K)洁净棚:
澳门马会传真绝密信-澳门马会传真576969con-澳门玄机网862727ccm 其气流组织方向和Class1-100洁净棚不同,内部的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,伴有回流和涡流,它主要靠洁净的气流不断稀释内部空气,将内部的污染逐渐排出,来实现洁净效果。要实现洁净棚的等级不同,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现的。

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